본 발명에 따르면, 표면에 미세 패턴이 존재하는 플라스틱 구조물을 성형하기 위한 성형 금형에 있어서, 상판과 하판으로 분리되어 내부에 플라스틱 성형재료가 주입되기 위한 캐비티 공간을 형성하는 금형 베이스와; 플라스틱 성형재료를 가열하기 위한 전원을 공급하는 전원수단; 및 금형 베이스 상판과 하판 사이에 형성된 캐비티 공간에 배치되고, 전원수단에 의해 공급되는 전원에 대하여 전기 저항체로 작용하여 그 전면이 가열되며, 상하면에 금형 베이스와의 절연을 위한 절연층이 형성된 스탬퍼를 포함하는 미세 구조물 성형 금형이 제공된다. 개시된 미세 구조물 성형 금형에 따르면, 스탬퍼가 전원공급수단에 의해 공급되는 전원에 대하여 직접 전기 저항체로 작용하여 그 전면이 가열되도록 함으로써 가열효율이 높은 동시에 균일한 온도분포 상태를 유지할 수 있으며, 스탬퍼의 구조가 간단하여 추가적인 내부가공 공정이 요구되지 않으므로, 제작 비용이 저렴한 동시에 내구성이 우수한 장점을 갖는다.

본 발명은 유도가열방식 원적외선 고무가교 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고무를 가교하는 가교 장치에 있어서, 상면에 길이방향으로 위치되는 고무를 일측으로 진행시키는 이송부와, 상기 이송부를 내설하고 내측에서부터 원적외선 코팅재, 발열체, 단열재 순으로 일체를 구성하며, 상기 단열재 외주면에 유도코일이 각각 부설되는 상단가열체와 하단가열체로 이루어져 상/하부 개폐가 가능한 가열부로 구성되어, 가교 장치 내의 온도균일화를 위해 나선형으로 형성되는 유도코일의 간격이 중심으로 갈수록 좁아지거나 넓어지도록 선택적으로 형성하고, 상기 가열부를 다수개 연속결합하여 길이에 따른 온도제어가 가능하도록 함과 동시에, 가열화된 원적외선이 고무 내부로 깊이 침투함으로써 다수개의 고무를 효과적으로 경화시키며 경화시간 또한 절감할 수 있도록 한 유도가열방식 원적외선 고무가교 장치에 관한 것이다.

본 발명은 공기 실린더에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 피스톤 양끝 단에 스텝 또는 테이퍼부를 형성함으로써 고압의 공기가 누설되는 것을 막아주면서 실린더 운동 시 고체 접촉되는 것을 막아주며 피스톤 중앙에는 공기 통로가 형성됨으로써 장시간 사용할 수 있는 시일이 없는 공기 실린더에 관한 것이다. 본 발명에 따른 시일이 없는 공기 실린더는 피스톤부와 베어링부로 구성된 본체와, 상기 본체 내부에 삽입되어 전,후방으로 움직이며 피스톤 헤드와 로드를 포함하는 피스톤으로 구성된 공기 실린더에 있어서, 상기 피스톤의 내부에는 본체의 내부 공간에 형성된 공기를 외부로 배출할 수 있는 공기 배출통로가 구비됨을 특징으로 한다. 또한 피스톤 헤드의 둘레 부분에는 스텝 타입의 함몰부와 원뿔 타입의 테이퍼 부가 더 형성됨을 특징으로 한다.

본 발명은 공기 실린더에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 본체에 형성된 베어링부 가공에 따른 시간의 소요됨이 없고 제작 단가가 절약되는 베어링과 시일이 필요 없이 피스톤과 실린더 사이에 스스로 동압을 형성하는 공기 실린더에 관한 것이다. 본 발명은, 장축의 단일 피스톤 구조 또는 단축의 이중 피스톤 구조로 구성되는 본체와, 상기 본체 내부에 삽입되어 전,후방으로 움직이며 피스톤 헤드와 로드를 포함하는 피스톤으로 구성된 공기 실린더에 있어서, 상기 본체는 일측에 형성된 피스톤부와 이 피스톤부의 후방에 연결된 연결부로 구성되며, 상기 피스톤의 내부에는 본체에 형성된 공기를 외부로 배출할 수 있는 공기 배출통로가 구비됨을 특징으로 한다. 또한 피스톤 헤드 둘레에는 스텝 형상의 테이퍼부와 원뿔 타입의 테이퍼부가 더 형성됨을 특징으로 한다.

본 발명은 반도체 제조공정이나 에프피디(ＦＰＤ: Flat Panel Display) 제조공정에서 사용되는 초음파 세정장치의 개량에 관한 것으로 초음파진동에 의한 과열을 방지함으로써 장치의 내구성이 향상되고, 미스트 배기시설의 설치를 생략할 수 있으며, 초음파출력(음압(音壓))을 피세정체의 표면 전체에 균일하게 조사할 수 있고, 장치의 부피를 경박단소화할 수 있으며, 전력이나 세정액의 사용량을 줄여 경제적으로 구동할 수 있는 초음파 세정장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 초음파 세정장치는, 세정액과 초음파의 조합사용에 의해 피세정체의 표면오염을 제거하는 초음파 세정장치에 있어서, 피세정체를 이동시키는 직선이송수단; 직선이송수단으로 운반하는 피세정체의 표면에 세정액을 분사·공급하여 상기 피세정체의 표면에 세정액 막을 형성하는 세정액 공급수단; 및 피세정체 표면의 세정액 막에 접촉되는 초음파집중부의 단면윤곽의 양측 곡선이 지수곡선 또는 현수선 형태로 된 몸체와, 상기 몸체 내에 복수 개가 일렬로 배치되되 인접면 사이에 형성되는 절연간격이 피세정체의 이동방향에 대해 사선(斜線)으로 형성되는 삼각형 모양 또는 " " 모양의 초음파 진동소자로 이루어진 초음파 세정용 진동체; 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

본 발명은 5축 마이크로 가공장치에 관한 것으로서, 수평 베이스 테이블; 상기 수평 베이스 테이블 상에 z방향으로 이동되게 설치되는 z테이블; 상기 z테이블 상에 b방향으로 회전되게 설치되는 b로터리 테이블; 상기 b로터리 테이블 상에 고정 설치된 채 스핀들 및 절삭툴을 지지하는 절삭툴용 지그로 이루어진 피삭재 가공유닛; 및 상기 수평 베이스 테이블에 대해 수직방향으로 설치되는 수직 베이스 테이블; 상기 수직 베이스 테이블 상에 x방향으로 이동되게 설치되는 x테이블; 상기 x테이블에 지지된 채 y방향으로 이동되게 설치되는 y테이블; 상기 y테이블 상에 c방향으로 회전되게 설치되는 c로터리 테이블; 상기 c로터리 테이블 상에 설치된 채 피삭재를 지지하는 피삭재용 지그로 이루어진 피삭재 장착유닛;을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

본 발명은 보일러에 관한 것으로서, 보일러 연소부의 상부에 버너에 공급되는 공기를 안내하는 배플을 배치하여 버너에 공급되는 공기가 보일러 연소부의 상부를 통해 외부 대기로 방출되는 연소열을 효과적으로 차단할 수 있다. 따라서, 보일러의 열손실을 최소화시켜 효율을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시예는 소수성 기판의 기설정된 패턴을 따라 마이크로 요철을 형성하여 상대적으로 친수가능 부분을 형성하고, 이 친수 가능 부분에 수용액을 접촉시켜 수용액에 포함된 입자들로 기설정된 패턴을 형성하는 소수성 기판에 대한 패턴 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 소수성 기판에 대한 패턴 형성 방법은, 소수성 기판에 마이크로 요철을 형성하는 요철 형성 단계, 입자들이 포함된 수용액을 담고 있는 수용액조에 상기 소수성 기판을 투입하고 상기 수용액에 초음파를 가하여 상기 마이크로 요철에 수용액을 부착하는 수용액 부착 단계, 상기 수용액조로부터 상기 소수성 기판을 꺼내어 에어를 분사하여 상기 요철에 부착되는 상기 수용액을 남기고 상기 요철 외곽에 부착되는 상기 수용액을 제거하는 수용액 선택 단계, 및 상기 요철에 부착되어 있는 상기 수용액의 상기 입자들로 기설정된 패턴을 형성하는 패턴 형성 단계를 포함한다.

본 발명은 캠과 같은 비구면을 선삭할 뿐만 아니라 특정 패턴의 생성을 위해서 공구의 위치 및 각도를 동시에 독립적으로 변동시킬 수 있는 구조의 가변 절삭공구장치에 관한 것으로, 이를 위해 테이블에 슬라이딩 결합되는 제 1엑츄에이터에 의해 이송되는 이송블럭과, 상기 이송블럭의 상부에 고정되고, 세미서클레일이 직립 형성된 가변공구대와, 공구가 고정되고, 상기 가변공구대의 세미서클레일에 슬라이딩결합되어 공구각이 가변되는 툴공구대와, 상기 툴공구대를 세미서클레일 상에서 이송시켜 공구 각을 가변시키는 제 2엑츄에이터로 이루어지되, 상기 제 2엑츄에이터는 수평으로 배치되고, 상기 툴공구대와 링크결합되는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 하나의 스핀들에 공작물 및 툴 중 어느 하나를 고정시킬 수 있어 공작물을 회전시켜 선삭하는 선반의 기능과, 툴을 회전시켜 공작물을 가공하는 밀링의 기능을 겸비한 다기능 원스핀들 복합 마이크로 머신에 관한 것으로, 이를 위해 스핀들이 장착된 주축과, 베이스의 상부에 X/Y/Z축으로 이송가능하게 결합되는 스테이션으로 구성되되, 상기 스테이션의 최상부에는 공작물을 고정하는 제 1바이스와, 툴을 고정하는 제 2바이스가 장착되고, 상기 주축의 스핀들에는 공작물홀더 및 툴홀더 중 어느 하나가 장착되는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 촉매 반응기의 유동 균일화 장치에 관한 것으로서, 그 구성은, 촉매층이 내장되어 있는 반응부와, 상기 반응부의 일측에 마련되어 반응물질이 유입되는 유입부와, 상기 반응부의 타측에 마련되어 상기 반응물질이 상기 촉매층과 반응한 후 배출되는 배출부를 포함하는 촉매 반응기에 있어서, 상기 반응부 내에 마련되고, 상기 유입부와 상기 촉매층 사이에 배치되며, 다수의 구멍이 형성되어 있는 여러 개의 다공판을 포함하되, 상기 여러 개의 다공판은 서로 간격을 두고 장착되되, 서로 인접한 상기 다공판에 형성된 상기 구멍이 서로 겹치지 않도록 장착되어 있으며, 상기의 구성에 따르면, 촉매층 전단의 유동이 균일해지고, 반응물질의 유입방향에 무관하게 유동의 균일화가 가능하며, 촉매층의 내구성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

본 발명은 틸팅 패드가 힘의 방향으로 탄성적으로 지지되게 설치되어 댐핑 효과를 높일 수 있을 뿐만 아니라, 하중지지 능력 및 미스얼라인먼트에 대한 적응력이 향상되면서도 고속회전에서 회전축을 보다 안정적으로 지지하면서 떨림 현상이나 진동발생 등을 효과적으로 저감할 수 있는 왕복 이동하는 틸팅 패드를 구비한 틸팅 포일 베어링에 관한 것이다. 이러한 본 발명에 따른 저널베어링은 내부를 관통하여 형성된 축공의 내벽에 하나 이상의 로드 삽입홀이 형성된 베어링 하우징과 ; 상기 베어링 하우징의 내부에 피봇에 의해 회동될 수 있도록 설치된 하나 이상의 틸팅 패드를 포함하여 구성되데, 상기 피벗은 상기 로드 삽입홀에 삽입되는 로드와, 틸팅 패드의 저면에 형성되고 상기 로드에 힌지 고정된 힌지판, 및 상기 베어링 하우징과 틸팅 패드사이에 설치되어 틸팅 패드를 탄성적으로 지지하는 탄성체로 구성됨을 특징으로 한다. 또한 본 발명에 따른 트러스트베어링은 중앙에 축공이 형성되고 상부면에 하나 이상의 로드 삽입홀이 형성된 트러스트 판과 ; 상기 트러스트 판의 상부에 피봇에 의해 회동될 수 있도록 설치된 하나 이상의 틸팅 패드를 포함하여 구성되데, 상기 피벗은 상기 로드 삽입홀에 삽입되는 로드와, 틸팅 패드의 저면에 형성되고 상기 로드에 힌지 고정된 힌지판, 및 상기 트러스트 판과 틸팅 패드사이에 설치되어 틸팅 패드를 탄성적으로 지지하는 탄성체로 구성됨을 특징으로 한다.

개시된 용융탄산염 연료전지 장치는 연료와 물을 공급하는 연료물공급부와 연료물공급부로부터 연료와 물을 공급받아 수소가스가 발생되는 개질기와 개질기로부터 수소가스를 공급받아 탄산이온과 반응하여 물과 이산화탄소를 발생하는 양극부(Anode)와 양극부에서 반응하고 남은 수소가스를 연소하는 연소기와 연소기에 공기를 공급하는 공기유동부와 연소기를 통해 유입된 이산화탄소와 산소가 반응하여 탄산이온을 발생하여 양극부로 보내는 음극부(Cathode) 및 양극부와 음극부를 포함하며, 전기를 발생하는 전기발생부를 포함한다. 이와 같은 구성의 용융탄산염 연료전지 장치는 효율향상을 위해 설치된 압축기 및 터빈으로부터 공기를 공급받지 않고 별도의 공기유동부로부터 대기의 공기를 공급받아 별도로 압력 및 온도 등의 제어가 용이하게 되어 작동 및 제어의 단순화를 가져올 수 있다.

본 발명에 따르면, 연료 및 물을 공급하는 공급부; 이 공급부로부터 연료와 물을 공급받아 화학반응에 의하여 연료와 물을 수소로 변환시키는 개질기; 이 개질기로부터 수소를 공급받는 양극부(anode); 이 양극부에서 배출된 가스를 연소시켜 열을 발생시키며, 열을 개질기로 전달하는 연소기; 이 연소기로부터 공기를 공급받는 음극부(cathode); 양극부와 음극부를 포함하며 개질기로부터 공급된 수소와 상기 연소기로부터 공급된 공기에 포함된 산소의 화학반응에 의하여 전기 에너지를 발생시키는 전기발생부; 압축기로부터 압축되어 공급된 공기를 음극부로부터 회수된 열을 이용하여 가열하는 공기 열교환기; 공기 열교환기에서 열교환이 이루어진 열을 회수하여 개질기에 공급되는 연료와 물을 가열하는 연료 열교환기; 및 압축기로부터 공급받아 열교환이 이루어져 가열된 압축 공기에 의하여 동력을 발생시키며 연소기에 공기를 공급하는 공기터빈을 포함하는 용융탄산염 연료 전지 시스템이 제공된다. 이와 같은 용융탄산염 연료전지 시스템에 의하면, 시스템의 안정성을 향상시켜주며, 시스템으로부터 발생하는 열의 효율성을 향상시켜주게 된다.

본 발명은 반도체 칩들이 복수열의 수납칸들에 각각 수납된 반도체칩 트레이로부터 한 열의 반도체 칩들을 흡착하여 픽업하기 위한 반도체칩 픽킹장치에 관한 것으로서, 반도체 칩의 개수 및 피치에 따라 진공 헤드에 결합되는 흡착 툴만을 교체하여 사용함으로서, 피커의 간격을 조절할 필요가 없고 반도체 칩의 종류에 따른 장치의 타입 교체를 신속하고 용이하게 할 수 있는 반도체칩 픽킹장치에 관한 것이다.