초음파 세정장치 요약정보 및 구매

본 발명은 반도체 제조공정이나 에프피디(ＦＰＤ: Flat Panel Display) 제조공정에서 사용되는 초음파 세정장치의 개량에 관한 것으로 초음파진동에 의한 과열을 방지함으로써 장치의 내구성이 향상되고, 미스트 배기시설의 설치를 생략할 수 있으며, 초음파출력(음압(音壓))을 피세정체의 표면 전체에 균일하게 조사할 수 있고, 장치의 부피를 경박단소화할 수 있으며, 전력이나 세정액의 사용량을 줄여 경제적으로 구동할 수 있는 초음파 세정장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 초음파 세정장치는, 세정액과 초음파의 조합사용에 의해 피세정체의 표면오염을 제거하는 초음파 세정장치에 있어서, 피세정체를 이동시키는 직선이송수단; 직선이송수단으로 운반하는 피세정체의 표면에 세정액을 분사·공급하여 상기 피세정체의 표면에 세정액 막을 형성하는 세정액 공급수단; 및 피세정체 표면의 세정액 막에 접촉되는 초음파집중부의 단면윤곽의 양측 곡선이 지수곡선 또는 현수선 형태로 된 몸체와, 상기 몸체 내에 복수 개가 일렬로 배치되되 인접면 사이에 형성되는 절연간격이 피세정체의 이동방향에 대해 사선(斜線)으로 형성되는 삼각형 모양 또는 " " 모양의 초음파 진동소자로 이루어진 초음파 세정용 진동체; 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

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