고온용 부품의 윤활코팅장치 요약정보 및 구매

본 발명은 고온용 부품의 마모 및 표면 벗겨짐(galling)으로 인한 손상을 방지하기 위해 스퍼터링 공법을 이용하여 고온용 부품의 표면에 윤활층을 형성하는 고온용 부품의 윤활코팅장치에 관한 것이다. 본 발명은, 고온용 부품이 세팅되는 세팅부와 상기 고온용 부품을 상대로 스퍼터링 공간을 형성하는 도어를 구비한 챔버, 상기 세팅부에 세팅된 고온용 부품을 회전 구동시키는 회전구동수단, 상기 챔버의 스퍼터링 공간을 진공으로 유지시키는 진공펌프, 상기 챔버의 스퍼터링 공간을 불활성 기체 분위기로 조성하는 불활성 기체 공급부, 상기 도어의 상면부와 전·후면부에 상기 고온용 부품을 향해 복수 개 설치된 타겟, 상기 타겟에 대응하도록 상기 도어의 상면부와 전·후면부에 설치되며 타겟의 원자를 방출시켜 상기 고온용 부품에 증착시키는 복수 개의 스퍼터 건, 상기 회전구동수단과 진공펌프와 불활성 기체 공급부 및 스퍼터 건을 제어하는 제어부를 포함하여 이루어진다.

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