특허(기계금속)
상품 정보
상품 기본설명
본 발명의 일 실시예에 따른 비평면 코팅 장치는 비평면 형상의 기판에 레지스트를 공급하는 레지스트 공급부와, 상기 기판의 아래에 설치되고, 레지스트가 코팅되는 기판의 면과 대향하도록 설치되며 기체 분사구가 형성된 테이블과, 상기 테이블에 연결된 지지축과, 상기 지지축와 연결되어 상기 지지축에 회전력을 인가하는 구동 모터, 및 상기 기체 분사구로 기체를 공급하는 펌프를 포함할 수 있다.
상품 상세설명
상품문의
교환/반품
