특허(바이오)
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레이저를 이용한 플렉서블 포토마스크의 제조방법을 개시한다. 본 발명은 자외선이 통과하지 못하는 소재로 이루어진 멤브레인을 기판에 올려 놓는 a)단계와, 레이저를 상기 멤브레인에 조사하여 설정된 구조물 형상으로 가공함에 따라 자외선이 통과되는 절개구를 형성하는 b)단계와, 기판과 멤브레인을 분리하는 c)단계를 포함하는 레이저를 이용한 플렉서블 포토마스크의 제조방법을 제공할 수 있어, 보다 저렴한 비용으로 포토마스크의 제작이 가능하다.
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