스윙 암과 통합된 패드 프로파일 측정 시스템 요약정보 및 구매

본 발명에 의한 스윙 암과 통합된 패드 프로파일 측정 시스템은 상면에 연마 패드(171)가 배치된 정반(170)의 일측에 회전 가능하게 설치된 본체(110), 일측이 상기 본체(110)의 상부에 회전 가능하게 설치된 스윙 암(120), 상기 스윙 암(120)의 타측 하부에 회전 및 직진 운동이 가능하게 설치되어, 상기 연마 패드(171)를 컨디셔닝하는 컨디셔너(130), 상기 스윙 암(120)의 전면 하부에 설치되고, 전면에는 가이드부(141)가 함몰 형성된 이송부(140), 상기 가이드부(141)의 일단에서 타단까지 이동 가능하게 설치되어, 상기 연마 패드(171)의 두께 프로파일을 측정하는 센서부(150), 상기 컨디셔너(130)의 상부에 구비되어, 상기 컨디셔너(130)를 중력 방향으로 가압하는 가압부(155), 상기 가압부(155)의 일측에 설치되어, 상기 가압부(155)에 의해 상기 컨디셔너(130)에 가해지는 실제 압력값을 측정하는 압력 센서(156), 상기 연마 패드(171)의 상면에 설치되어, 상기 스윙 암(120)의 실제 처짐값을 측정하는 처짐 측정 센서(157) 및 상기 처짐 측정 센서(157)에 의해 측정된 상기 스윙 암(120)의 실제 처짐 데이터를 이용하여 상기 가압부(155)의 실제 압력값을 조절하는 컨트롤 모듈(160)을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상품 선택옵션 0 개, 추가옵션 0 개