접촉 영역의 조절이 가능한 다이아몬드 컨디셔너 요약정보 및 구매

본 개시는 이상에서와 같은 접촉 영역의 조절이 가능한 다이아몬드 컨디셔너는, 컨디셔너와 패드의 접촉면적을 컨트롤하여 패드의 마모 형상 제어가 가능하고, 이를 통해 패드 사용에 있어 수명 향상이 가능하고, 스윙암 컨디셔너의 스윙 모션과 회전 속도로 패드의 마모 형상이 결정되는 기존의 장치와 달리 접촉 면적을 제어하여 패드의 불필요한 마모가 감소되며, 패드 중앙 및 외주부의 마모량 제어를 통한 패드 평탄도 확보를 통해 "W" 형태의 패드 형상("M" 형태의 패드 마모 프로파일)의 마모가 최대한 극복되는 장점을 갖는 접촉 영역의 조절이 가능한 다이아몬드 컨디셔너에 관한 것이다. 본 개시의 실시예에 따른 접촉 영역의 조절이 가능한 다이아몬드 컨디셔너는, 패드를 상부면에 구비하고 베이스 몸체에 회전 가능하게 구비된 플래튼과, 상기 베이스 몸체의 상측에 좌우 회전 동작 가능하도록 구비되며, 연마 대상 박막이 형성된 반도체 기판을 고정하여 상기 패드 상에서 회전시키는 헤드를 구비한 웨이퍼 캐리어와, 상기 베이스 몸체에 구비되어 상기 패드에 슬러리를 공급하는 슬러리 공급기와, 상기 베이스 몸체의 상측에 좌우 회전 동작 가능하도록 구비되며, 상기 패드와의 상대적인 운동을 통해 상기 패드에 컨디셔닝 공정을 진행하는 디스크가 하부면에 구비된 스윙암을 포함하고, 상기 디스크는 상기 패드의 접촉 영역 변화에 대응되며 독립적으로 상기 패드를 가압하는 분할된 형태인 제1 및 제2 디스크로 이루어진 것을 특징으로 한다.

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