본 발명은 H218O 농축물이 수용되는 캐비티를 가지는 캐비티 부재를 구비하며, 상기 캐비티에 수용된 H218O 농축물에 조사된 양성자와 상기 H218O 농축물간의 핵반응에 의해 18F을 생산하기 위한 표적장치로서, 상기 캐비티 부재는, 상기 양성자의 조사 경로 상에 서로 반대쪽을 향하도록 배치되어 있으며 상기 캐비티가 외부와 통하도록 상기 캐비티와 연결되어 있는 전면 개구부 및 후면 개구부가 형성되어 있으며, 상기 전면 개구부를 막도록 배치되어 있는 전면 박막; 상기 후면 개구부를 막도록 배치되어 있는 후면 덮개 부재; 상기 핵반응시 상기 캐비티 내에서의 압력 상승으로 인해 상기 전면 박막이 부풀어 오르는 것을 방지하기 위해 상기 전면 박막을 지지하도록 상기 캐비티 부재에 결합되며, 상기 양성자의 조사 경로 상에 배치되며, 상기 양성자의 조사방향으로 관통공이 복수 형성되어 있는 전면 냉각부재; 상기 캐비티 둘레를 따라 냉각수를 공급하기 위한 공간을 구비하며, 상기 캐비티 부재에 결합되는 중앙 냉각부재; 및 상기 후면 덮개 부재와 결합하며 냉각수가 출입하여 유동하도록 된 후면 냉각부재;를 구비하며, 상기 캐비티의 내주면에는 티타늄(Ti) 또는 니오븀(Nb)이 도금처리된 열화학적 안정층이 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.