특허(기계금속)
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상품 기본설명
본 발명은 금속 박막 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 베이스 기판; 및 금속 또는 이의 합금으로 구성되고, 전이금속이 도핑된 금속 박막;을 포함하고, 상기 금속의 질화 또는 산화 처리에 대한 반응성은 상기 전이금속의 질화 또는 산화 처리에 대한 반응성보다 낮고, 상기 금속 박막은 전이금속의 질화물 또는 산화물을 포함하는, 금속 박막 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
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