특허(기계금속)
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본 발명은 반도체 나노 소재를 이용한 가스 센서의 나노소재와 전극과의 쇼트키 장벽을 낮춰줌으로써 가스 반응성을 향상시킬 수 있도록 하는 전압 조절 방식을 이용한 가스 센서의 감도 개선 방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 전압 조절 방식을 이용한 가스 센서의 감도 개선 방법은, 기판과 기판 상에 구비된 절연층과 절연층 상에 구비된 전극 및 전극 사이에 연결 구비된 나노소재로 구성되는 반도체 나노소재 가스센서의 전극 사이에 전압을 인가하고 나노소재와 가스의 접촉 반응에 따른 저항 변화를 검출하는 나노소재를 이용한 가스 검출 방법에 있어서, 상온 및 상압에서 상기 전극과 나노소재의 쇼트키 장벽 조절을 통해 상기 나노튜브에 대한 특정 가스의 반응을 최대화하도록 상기 전극 사이에 인가되는 전압을 일정 전압 이상 높게 조절하는 것을 특징으로 한다.
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